电子无尘车间的应用越来越广，但有时因工作员工对电子无尘车间里的设备和工艺技术不一定了解，往往会造成污染，污染因素一般有以下几种：

    1、电磁噪声：通过大电的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，影响电子束扫描的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。

    2、振动：设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备的仪器上，影响它们的工作精度。应在振源和怕受振动的设备下安装空气弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。

    3、生锈：酸风通风罩局部排风量不足时，酸雾气扩散于室内，腐蚀室内设备的金属部分，就是不锈钢露在含氯气的空气中，也会受腐蚀生锈。处理酸的较有效的方法是采用密闭通风罩，保证足够的局部排风量。

    除上述的原因之外，还有器材和设备的搬出和大修施工时的污染问题。这些污染不只是因人的移动造成的，设备移动也会扬起已落地板表面和器材上的尘埃。特别是更换设备时养护地板，搬进小工具或很多搬运工进出洁净室，这些会导致室内的悬浮尘埃量比平时大一百倍以上。

    对无尘车间局部改造的施工中，通常人在地板下铺设管道或坐在地板上进行作业。这种施工有时切割管道，于是聚氯乙烯管和不锈钢等切屑粉末飞扬出来。所以大修时尽管周围挂上挡布以养护，但由于施工人员进进出出，受污染的不仅仅是局部范围，而且全室都受严重污染。

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