随着人们生活质量的提高，对他们的生产质量的要求越来越严格。在电子无尘车间和其他行业的无尘车间的建设规划中，静电控制有两种:高湿度实际上减少了无尘车间和洁净室表面的静电电荷积累，这是期望的结果。较低的湿度更适合电荷积累，并成为潜在的破坏性静电放电源。

当相对湿度超过50 %时，静电开始迅速消散，但是当相对湿度低于30 %时，它们会在绝缘体或未接地表面上持续很长时间。

相对湿度在35 %到40 %之间是一个令人满意的折衷方案，半导体无尘车间和洁净室通常使用额外的控制装置来限制静电的积累。许多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增加而增加。暴露在洁净室和洁净室周围空气中的所有表面都很快被至少一层水覆盖。当这些表面由能与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度会加速反应。幸运的是，一些金属，例如铝，可以用水形成保护性氧化层，防止进一步的氧化反应。然而，另一种情况，例如氧化铜，没有保护作用，因此铜表面在高湿度环境中更容易受到腐蚀。

举例说明一下：

在电子工业中，制造车间是产生静电的重要场所。通常静电会导致产品短路，甚至导致员工导电昏厥事故。因此，电子行业无尘车间的相对湿度不应低于30 %，这可以减少静电的产生。一般建议无尘车间防静电区域的相对湿度不低于50 %。太干燥的空气容易扬尘。在电子工厂无尘车间没有特殊要求的情况下，温度控制在22℃左右，相对湿度控制在55 %至60 % RH之间。在这种环境中，人们感觉舒适，静电消失了。